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MicroAce3系列是高精度切割/划片机,刚性结构确保高精度,可靠和稳定性
能,选用PC机数据输入和存储广泛应用于电子/半导体及相关领域研发和批量生产
适用于 硅,铁,玻璃,锗,铌酸锂,砷化镓,氧化铁,压电陶瓷,蓝宝石,
PZT 等多类型材料的精密切割/划片和研磨需要,
加工能力 φ6”(φ152mm)MicroAce3系列生产符合CE标准
| MicroAce Series 3主要性能指标 |
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| 最大晶片尺寸:ф6"(150 mm) |
| Z轴有效行程:8mm |
| X轴有效行程:250mm |
| 增值:0.001mm |
| Y轴有效行程:155mm |
| θ轴旋转范围:0-225° |
| 定位精度:±0.003 mm |
| 分辨率::0.005° |
| 进给速度:50mm/秒 |
| 转速:1500—40000 转/分 |
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